SC係列層流質量流量控製器
適用大多數實驗室的標準型流量控製器

最小流量:0.1SCCM     最大流量:500SLPM

SC係列層流質量流量控製器用於實時控製過程氣體的流量,特有的層流壓差技術,配合高精度壓力、溫度傳感器實現的補償,及獨創核心算法,使得產品具有高精度、高重複性、低零點、溫度、壓力漂移量的特點,強大的觸摸顯示屏可直接輸入設定流量,顯示實時壓力、溫度、工況流量、標況流量,流量計和控製器模式隨意切換,多氣體、多量程,無須轉化係數。

特征
  • 量程範圍
    0.5sccm~500slpm
    0.5sccm~500slpm
  • 高精度(可溯源)
    ±0.5%~±1.0%
    設定值精度
    ±0.5%~±1.0%設定值精度
  • 快速響應
    500ms以下
    無需預熱
    500ms以下無需預熱
  • 自由切換更改氣體介質
    觸屏點擊輸入設定流量
    調整混合氣體比例和修改部分參數信息
    觸屏點擊輸入設定流量調整混合氣體比例和修改部分參數信息
  • 適用範圍
    寬溫度、壓力
    寬溫度、壓力
  • 高可靠性
    高抗過載、抗電磁幹擾
    能力
    高抗過載、抗電磁幹擾能力
  • 寬量程比
    100:1
    100:1
  • 可切換
    流量計模式
    使用
    流量計模式使用
應用領域
實驗室

高校、科研院所、企業實驗室:需要氣體流量控製的場景

技術參數

型     號

PIG-SC101

PIG-SC201

PIG-SC102

PIG-SC202

PIG-SC120

PIG-SC220

PIG-SC150

PIG-SC250

流量規格

  0.5、1、2 、

5 、10、20SCCM

  50、100、200 、

500 、1000 、2000SCCM

  5、10 、20 、

50 、100 、200 SLPM

500SLPM

閥門種類

N/C(常閉型)

性能指標

準 確 度

SC100:±1%S.P.(設定值)(20%~100%量程範圍)、±0.2%F.S.(滿量程)(1%~20%量程範圍)、

精度保證範圍(-20℃~60℃)

SC200:±0.5%S.P.(設定值)(20%~100%量程範圍)、±0.1%F.S.(滿量程)(1%~20%量程範圍)、

精度保證範圍(-20℃~60℃)

SC100-WR寬量程型:±1%S.P.(設定值)(10%~100%量程範圍)、±0.1%F.S.(滿量程)(1%~10%量程範圍)、

精度保證範圍(-20℃~60℃)

重複精度

±0.2%F.S.

溫度漂移

Zero:≤±0.01%F.S./℃;             Span:≤±0.01%F.S./℃(基準溫度20℃)

工作範圍

1%~100%F.S.(最大可達120%F.S.)

響應時間

≤500ms

啟動預熱時間

≤1s

使用條件

使用溫度範圍

-20℃~60℃

使用濕度範圍

0%~98%(無冷凝)

耐     壓

1.5MPa

最大工作壓力

1MPa

供電電壓

+(18~30)VDC

消耗電流

< 300mA(<5W)

安裝方式

無指定(任意角度)

接氣部材質

SUS316L

密封部材質

橡膠圈密封:氟橡膠

顯示方式

彩色LCD觸摸屏

通信方式

模擬:(0~5 )VDC;數字:RS485

尺寸圖
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