最小流量：0.1SCCM 最大流量：500SLPM
MC係列層流質量流量控製器與SC係列層流質量流量控製器的區別在於沒有觸摸式顯示屏，基於壓力式的層流壓差技術，不受製於來流狀態的影響，配合高精度壓力、溫度傳感器實現精確壓力、溫度補償，使得產品在較寬的溫度、壓力範圍內迅速達到流量設定值，保障了測量的精度和控製的穩定性。模擬信號和數字信號的通訊方式，適用於配套過程控製的客戶。
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型 號 |
PIG-MC201 |
PIG-MC102 PIG-MC202 |
PIG-MC120 PIG-MC220 |
PIG-MC250 |
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流量規格 |
0.5、1、2 、 5 、10、20SCCM |
50、100、200 、 500 、1000 、2000SCCM |
5、10 、20 、 50 、100 、200 SLPM |
500SLPM |
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閥門種類 |
N/C（常閉型） |
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性能指標 |
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準 確 度 |
MC100：±1%F.S.（滿量程）（1%～100%量程範圍）、精度保證範圍（-20℃～60℃） MC200：±1%S.P.（設定值）（20%～100%量程範圍）、±0.2%F.S.（滿量程）（1%～20%量程範圍）、 精度保證範圍（-20℃～60℃） MC200-WR寬量程型：±1%S.P.（設定值）（10%～100%量程範圍）、±0.1%F.S.（滿量程）（1%～10%量程範圍）、 精度保證範圍（-20℃～60℃） |
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重複精度 |
±0.2%F.S. |
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溫度漂移 |
MC100：Zero：≤±0.05%F.S./℃；Span：≤±0.05%F.S./℃（基準溫度20℃） MC200：Zero：≤±0.01%F.S./℃；Span：≤±0.01%F.S./℃（基準溫度20℃） |
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工作範圍 |
1%～100%F.S.(最大可達120%F.S.) |
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響應時間 |
MC100：≤800ms MC200：≤500ms |
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啟動預熱時間 |
≤1s |
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使用條件 |
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使用溫度範圍 |
-20℃～60℃ |
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使用濕度範圍 |
0%～98%（無冷凝） |
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耐 壓 |
1.5MPa |
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最大工作壓力 |
1MPa |
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供電電壓 |
＋（18～30）VDC |
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消耗電流 |
< 300mA（＜5W） |
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安裝方式 |
無指定（任意角度） |
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接氣部材質 |
SUS316L |
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密封部材質 |
橡膠圈密封：氟橡膠 |
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通信方式 |
模擬：（0～5 ）VDC/數字：RS485（可定製） |
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