最小流量:0.1SCCM 最大流量:500SLPM
MC係列層流質量流量控製器與SC係列層流質量流量控製器的區別在於沒有觸摸式顯示屏,基於壓力式的層流壓差技術,不受製於來流狀態的影響,配合高精度壓力、溫度傳感器實現精確壓力、溫度補償,使得產品在較寬的溫度、壓力範圍內迅速達到流量設定值,保障了測量的精度和控製的穩定性。模擬信號和數字信號的通訊方式,適用於配套過程控製的客戶。
型 號 |
PIG-MC201 |
PIG-MC102 PIG-MC202 |
PIG-MC120 PIG-MC220 |
PIG-MC250 |
流量規格 |
0.5、1、2 、 5 、10、20SCCM |
50、100、200 、 500 、1000 、2000SCCM |
5、10 、20 、 50 、100 、200 SLPM |
500SLPM |
閥門種類 |
N/C(常閉型) |
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性能指標 |
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準 確 度 |
MC100:±1%F.S.(滿量程)(1%~100%量程範圍)、精度保證範圍(-20℃~60℃) MC200:±1%S.P.(設定值)(20%~100%量程範圍)、±0.2%F.S.(滿量程)(1%~20%量程範圍)、 精度保證範圍(-20℃~60℃) MC200-WR寬量程型:±1%S.P.(設定值)(10%~100%量程範圍)、±0.1%F.S.(滿量程)(1%~10%量程範圍)、 精度保證範圍(-20℃~60℃) |
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重複精度 |
±0.2%F.S. |
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溫度漂移 |
MC100:Zero:≤±0.05%F.S./℃;Span:≤±0.05%F.S./℃(基準溫度20℃) MC200:Zero:≤±0.01%F.S./℃;Span:≤±0.01%F.S./℃(基準溫度20℃) |
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工作範圍 |
1%~100%F.S.(最大可達120%F.S.) |
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響應時間 |
MC100:≤800ms MC200:≤500ms |
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啟動預熱時間 |
≤1s |
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使用條件 |
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使用溫度範圍 |
-20℃~60℃ |
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使用濕度範圍 |
0%~98%(無冷凝) |
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耐 壓 |
1.5MPa |
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最大工作壓力 |
1MPa |
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供電電壓 |
+(18~30)VDC |
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消耗電流 |
< 300mA(<5W) |
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安裝方式 |
無指定(任意角度) |
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接氣部材質 |
SUS316L |
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密封部材質 |
橡膠圈密封:氟橡膠 |
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通信方式 |
模擬:(0~5 )VDC/數字:RS485(可定製) |