MC係列層流質量流量控製器
高品質配套過程控製的質量流量控製器

最小流量:0.1SCCM     最大流量:500SLPM

MC係列層流質量流量控製器與SC係列層流質量流量控製器的區別在於沒有觸摸式顯示屏,基於壓力式的層流壓差技術,不受製於來流狀態的影響,配合高精度壓力、溫度傳感器實現精確壓力、溫度補償,使得產品在較寬的溫度、壓力範圍內迅速達到流量設定值,保障了測量的精度和控製的穩定性。模擬信號和數字信號的通訊方式,適用於配套過程控製的客戶。

特征
  • 量程範圍
    0.5sccm~500slpm
    0.5sccm~500slpm
  • 高精度(可溯源)
    ±1.0%
    設定值精度
    ±1.0%設定值精度
  • 快速響應
    500ms以下
    無需預熱
    500ms以下無需預熱
  • 可選模擬信號、數字信號
    (4~20)mA、RS485
    傳輸方式
    (4~20)mA、RS485傳輸方式
  • 提供
    上位機軟件
    進行數據采集和下載
    上位機軟件進行數據采集和下載
  • 適用範圍
    寬溫度、壓力
    寬溫度、壓力
  • 高可靠性
    高抗過載、抗電磁幹擾
    能力
    高抗過載、抗電磁幹擾能力
  • 寬量程比
    100:1
    100:1
應用領域
流控係統

高端製造設備中流控係統的集成和配套

配氣

精細化工生產線中的流控器件

精細化工

生物反應器成套設備中的流控器件

分析儀器

配氣係統或裝置中的流控器件

生物反應器

分析儀器、科學儀器中的流控器件

自動化設備

定製化成套自動化設備中的流控器件

技術參數

型     號

PIG-MC201

PIG-MC102

PIG-MC202

PIG-MC120

PIG-MC220

PIG-MC250

流量規格

  0.5、1、2 、

5 、10、20SCCM

  50、100、200 、

500 、1000 、2000SCCM

  5、10 、20 、

50 、100 、200 SLPM

500SLPM

閥門種類

N/C(常閉型)

性能指標

準 確 度

MC100:±1%F.S.(滿量程)(1%~100%量程範圍)、精度保證範圍(-20℃~60℃)

MC200:±1%S.P.(設定值)(20%~100%量程範圍)、±0.2%F.S.(滿量程)(1%~20%量程範圍)、

精度保證範圍(-20℃~60℃)

MC200-WR寬量程型:±1%S.P.(設定值)(10%~100%量程範圍)、±0.1%F.S.(滿量程)(1%~10%量程範圍)、

精度保證範圍(-20℃~60℃)

重複精度

±0.2%F.S.

溫度漂移

MC100:Zero:≤±0.05%F.S./℃;Span:≤±0.05%F.S./℃(基準溫度20℃)

MC200:Zero:≤±0.01%F.S./℃;Span:≤±0.01%F.S./℃(基準溫度20℃)

工作範圍

1%~100%F.S.(最大可達120%F.S.)

響應時間

MC100:≤800ms

MC200:≤500ms

啟動預熱時間

≤1s

使用條件

使用溫度範圍

-20℃~60℃

使用濕度範圍

0%~98%(無冷凝)

耐     壓

1.5MPa

最大工作壓力

1MPa

供電電壓

+(18~30)VDC

消耗電流

< 300mA(<5W)

安裝方式

無指定(任意角度)

接氣部材質

SUS316L

密封部材質

橡膠圈密封:氟橡膠

通信方式

模擬:(0~5 )VDC/數字:RS485(可定製)

尺寸圖
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