最小流量：0.1SCCM 最大流量：5000SLPM
S係列氣體層流質量流量計用於實時測量過程氣體的流量，特有的層流壓差技術及獨創核心算法，內置的高精度壓力、溫度傳感器實時補償，產品具有高精度、高重複性、低零點、溫度、壓力漂移量等特點，強大的觸摸顯示屏可顯示實時壓力、溫度、工況流量、標況流量、累計流量，多氣體觸摸式切換，無須轉化係數。
| 型 號 |
PIG-S101 PIG-S201 |
PIG-S102 PIG-S202 |
PIG-S120 PIG-S220 |
PIG-S150 PIG-S250 |
| 流量規格 |
0.5、1、2 、 5 、10、20SCCM |
50、100、200 、 500、1000 、2000SCCM |
5、10 、20 、 50 、100 、200 SLPM |
500、1000、1500、 2000、3000、4000、5000SLPM |
| 性能參數 | ||
|---|---|---|
| 準 確 度 |
S100：±1%RD （20%～100%量程範圍） 或 ±0.2％F.S.（≤20%量程範圍）（RD-讀數 F.S.-滿量程） S100-WR：±1%RD （10%～100%量程範圍） 或 ±0.1％F.S.（≤10%量程範圍）（RD-讀數 F.S.-滿量程） |
|
| 重複精度 |
±0.2%F.S. |
|
| 溫度漂移 | Zero：≤±0.01%F.S./℃ Span：≤±0.01%F.S./℃（基準溫度20℃） | |
| 工作範圍 | 1%～100%F.S.(最大可達120%F.S.) | |
| 使用條件 | |
|---|---|
| 使用溫度範圍 | -20℃～60℃ |
| 使用濕度範圍 | 0%～98%（無冷凝） |
| 耐 壓 | 1.5MPa |
| 最大工作壓力 | 1MPa |
| 供電電壓 | ＋（18～30）VDC |
| 消耗電流 | < 150mA（＜3W） |
| 安裝方式 | 無指定（任意角度） |
| 接氣部材質 | SUS316L |
| 顯示方式 | 彩色LCD觸摸屏 |
| 輸出方式 | 模擬：（4～20）mA；數字：RS485 |
