最小流量:0.1SCCM 最大流量:5000SLPM
S係列氣體層流質量流量計用於實時測量過程氣體的流量,特有的層流壓差技術及獨創核心算法,內置的高精度壓力、溫度傳感器實時補償,產品具有高精度、高重複性、低零點、溫度、壓力漂移量等特點,強大的觸摸顯示屏可顯示實時壓力、溫度、工況流量、標況流量、累計流量,多氣體觸摸式切換,無須轉化係數。
型 號 |
PIG-S101 PIG-S201 |
PIG-S102 PIG-S202 |
PIG-S120 PIG-S220 |
PIG-S150 PIG-S250 |
流量規格 |
0.5、1、2 、 5 、10、20SCCM |
50、100、200 、 500、1000 、2000SCCM |
5、10 、20 、 50 、100 、200 SLPM |
500、1000、1500、 2000、3000、4000、5000SLPM |
性能參數 | ||
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準 確 度 |
S100:±1%RD (20%~100%量程範圍) 或 ±0.2%F.S.(≤20%量程範圍)(RD-讀數 F.S.-滿量程) S100-WR:±1%RD (10%~100%量程範圍) 或 ±0.1%F.S.(≤10%量程範圍)(RD-讀數 F.S.-滿量程) |
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重複精度 |
±0.2%F.S. |
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溫度漂移 | Zero:≤±0.01%F.S./℃ Span:≤±0.01%F.S./℃(基準溫度20℃) | |
工作範圍 | 1%~100%F.S.(最大可達120%F.S.) |
使用條件 | |
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使用溫度範圍 | -20℃~60℃ |
使用濕度範圍 | 0%~98%(無冷凝) |
耐 壓 | 1.5MPa |
最大工作壓力 | 1MPa |
供電電壓 | +(18~30)VDC |
消耗電流 | < 150mA(<3W) |
安裝方式 | 無指定(任意角度) |
接氣部材質 | SUS316L |
顯示方式 | 彩色LCD觸摸屏 |
輸出方式 | 模擬:(4~20)mA;數字:RS485 |