M係列氣體層流質量流量計
高品質配套過程測量的質量流量計

最小流量:0.1SCCM     最大流量:5000SLPM

M係列氣體層流質量流量計與S係列的區別在於沒有觸摸式顯示屏,特有的層流壓差技術,配合高精度壓力、溫度傳感器實現的補償,及獨創核心算法,使得產品具有高精度、高重複性、低零點、溫度、壓力漂移量的特點,模擬信號和數字信號的通訊方式,適用於配套過程控製的客戶。

特征
  • 量程範圍
    0.5sccm~5000slpm
    0.5sccm~5000slpm
  • 高精度(可溯源)
    ±0.5%~±1.0%
    讀數精度
    ±0.5%~±1.0%讀數精度
  • 快速響應
    100ms
    無需預熱
    100ms無需預熱
  • 傳輸方式
    4~20mA和RS485
    兼容數字信號、模擬信號
    4~20mA和RS485兼容數字信號、模擬信號
  • 提供
    上位機軟件
    進行數據采集和下載
    上位機軟件進行數據采集和下載
  • 適用範圍
    寬溫度、壓力
    寬溫度、壓力
  • 高可靠性
    高抗過載、抗電磁幹擾
    能力
    高抗過載、抗電磁幹擾能力
  • 寬量程比
    100:1
    100:1
應用領域
設備配套

流量型檢漏設備配套

消耗測量

用於內部會計目的的氣體分配係統中的氣體消耗測量

密封性測試

快速密封性測試

流量監控

食品、化工等行業的氣體流量監控

技術參數

型     號

PIG-M101

PIG-M201

PIG-M102

PIG-M202

PIG-M120

PIG-M220

PIG-M150

PIG-M250

流量規格

  0.5、1、2 、

5 、10、20SCCM

  50、100、200 、

500 、1000 、2000SCCM

  5、10 、20 、

50 、100 、200 SLPM

500、1000、1500、

2000、3000、4000、5000SLPM

性能參數

準 確 度

M100:±1%RD(20%~100%量程範圍)或 ±0.2%F.S.(≤20%量程範圍)(RD-讀數 F.S.-滿量程)

M200:±0.5%RD(20%~100%量程範圍)或 ±0.1%F.S.(≤20%量程範圍)(RD-讀數 F.S.-滿量程)

M100-WR寬量程型:±1%RD(10%~100%量程範圍)或 ±0.1%F.S.(≤10%量程範圍)(RD-讀數 F.S.-滿量程)

重複精度

±0.2%F.S.

溫度漂移

M100:Zero:≤±0.05%F.S./℃;Span:≤±0.05%F.S./℃(基準溫度20℃)

M200:Zero:≤±0.01%F.S./℃;Span:≤±0.01%F.S./℃(基準溫度20℃)

工作範圍

1%~100%F.S.(最大可達120%F.S.)

響應時間

≤100ms

啟動預熱時間

≤1s

使用條件

使用溫度範圍

-20℃~60℃

使用濕度範圍

0%~98%(無冷凝)

耐     壓

1.5MPa

最大工作壓力

1MPa

 供電電壓

+(18~30)VDC

消耗電流

< 150mA(<3W)

安裝方式

無指定(任意角度)

接氣部材質

SUS316L

輸出方式

模擬:(4~20)mA;數字:RS485

尺寸圖
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產品係列